行政院國科會國家奈米元件實驗室103 2002年(民國91年) 公開招標案件列表 :

案件名稱	決標金額
CVD氣體供應室盤面修改維護	NT$372,000.00
活性離子蝕刻系統管路工程	NT$572,000.00
H2O2、H2SO4及B.O.E.三種化學品自動供應系統年度維修	NT$150,000.00
夾桶製具	NT$118,000.00
曝光顯影機台配管工程	NT$235,000.00
H3PO4供酸系統設備修改	NT$255,000.00
雙氧水、硫酸	NT$280,000.00
氣體配管工程	NT$830,000.00
二氧化矽蝕刻液	NT$136,000.00
國家奈米元件實驗室南區無塵室儀器配電工程	NT$370,000.00
金屬化學氣相沈積使用之氣壓控制閥	NT$308,000.00
四氯化鈦氣體及Metal-CVD之氣體鋼瓶	NT$330,000.00
SCP濕式清洗設備,旋乾機及臭氧水供應系統管路維護	NT$120,000.00
雙養水,硫酸,氨水,鹽酸	NT$320,000.00
一般氣體供應設備	NT$291,000.00
濺鍍靶材	NT$312,975.00
TiCl4氣體鋼瓶(一瓶)	NT$130,000.00
氨水及鹽酸	NT$105,000.00
共18件	NT$5,234,975.00

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